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超纯水设备、电子超纯水一般工艺流程
[2011/5/13]
电子超纯水一般工艺流程：
(水质符合美国ASTM标准，电子部超纯水水质标准(18MΩ*cm，15MΩ*cm，2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四级)
典型工艺2:原水→预处理→反渗透→EDI→精密过滤→用水点
·预处理-反渗透-中间水箱-水泵-混合床-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-精制混床-精密过滤器-用水对象
·预处理-一级反渗透-加药机(PH调节)-中间水箱-第二级反渗透-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象
·预处理-反渗透-中间水箱-水泵-EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象
·预处理-反渗透-中间水箱-水泵-EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-精制混床-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象
应用场合：
·半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路;
·超纯材料和超纯化学试剂;
·实验室和中试车间
·汽车、家电表面抛光处理;
·其他高科技精微产品。
(水质符合美国ASTM标准，电子部超纯水水质标准(18MΩ*cm，15MΩ*cm，2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四级)
典型工艺2:原水→预处理→反渗透→EDI→精密过滤→用水点
·预处理-反渗透-中间水箱-水泵-混合床-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-精制混床-精密过滤器-用水对象
·预处理-一级反渗透-加药机(PH调节)-中间水箱-第二级反渗透-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象
·预处理-反渗透-中间水箱-水泵-EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象
·预处理-反渗透-中间水箱-水泵-EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-精制混床-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象
应用场合：
·半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路;
·超纯材料和超纯化学试剂;
·实验室和中试车间
·汽车、家电表面抛光处理;
·其他高科技精微产品。
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