离子探针仪器的四个分类以及应用

[2013/3/1]

　　离子探针仪器的四个分类和应用：就成像技术而言，可分为扫描型离子微探针(scanningionmicroprobes)和摄像型离子探针。前者的一次离子束斑直径较小，(φ≤1μm)，并在样品上扫描，类似于扫描电镜(SEM)和扫描俄歇微探针(SAM)，也叫离子微探针。后者是一次离子束斑较大(φ～300μm)，并静止不动，而二次离子光学(secondaryionoptics)扫描成像，也叫离子显微镜(ionmicroscope)，空间分辨率～0.2μm。

　　在离子探针迅速发展中，要说明或列出所有不同的仪器是不可能的。概括地说，可以分为以下几类。

　　1.非成像离子探针

　　2.离子显微镜

　　3.扫描离子微探针

　　4.图像解剖离子探针(imagedissectingionprobes)

　　离子探针仪器的应用

　　像离子探针适用于许多不同类型的样品。下面给出一些代表性例子。

　　一，金属样品

　　这是理想的样品，不会荷电。首先可用SEM直接找出感兴趣的分析区。使用剖面样品和使用扫描离子探针，沿剖面线扫描的方法是一种有用的技术，可作为动态SIMS的补充。可用于金属氧化物成长、腐蚀、焊接、应力失效断裂和晶粒间界偏析等方面的研究。

　　二，半导体器件

　　检测掺杂分布剖面和层形结构。随着超大规模集成电路的发展，扫描离子探针分析越来越重要。

　　三，非导体样品

　　高聚物和玻璃产品是典型绝缘样品。为子解决荷电问题，火焰光度计已开发出了微聚焦扫描原子束，可以对绝缘样品产生高质量的离子像。但当横向分辨率需优于5μm时，上述源就不能满足要求了。此时仍需用聚焦微离子束。这方面己成功地得到了家蝇复眼的离子像。应用的另一个领域是复合材料，尤其是研究这类材料破裂界面的情况。

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