如何选购匀胶机
2016/7/21

从其原理来说,我们可以看出选购匀胶机需要注意的几个细节

1、 旋转速度:转速的快慢和控制精度直接关系到旋涂层的厚度控制和膜层均匀性。如果标示的转速和电机的实际转速如果误差很大,对于要求精密涂覆的科研人员来说是无法获得准确的实验数据的。一般国产的匀胶机只能提供转速范围,并不能精确标定实时的转速。进口的匀胶机虽然大部分能标定转速,但是大部分转速精度没有国际标准认定。建议购买转速控制方面有国际认定标准的,比如:美国NIST标准等。

2、 真空吸附系统的构造

真空泵一定要无油的,压力标定准确。因为任何的油污都可能堵塞真空管道,如果真空吸附力降低,会导致基片吸附不住而产生“飞片”的情况,还会让滴胶液不慎进入真空管道系统造成完全堵塞。用过国产匀胶机的客户常常会关心怎么清洗的问题,这一点许多国外的匀胶机做得不错,他们有通过联动机制,如果真空吸附力不够的时候,不会开始旋转。

3、 材质的选择

对于半导体化工行业的应用来说,材质的选择尤为关键,大部分匀胶机采用的是不锈钢或者普通塑料材质,因为这种材质的成本很低,不锈钢的对于各类化工胶液的抗腐蚀性不太好,塑料对于较高温度和压力下易产生变形。如果这种变形引起托盘的位置失去水平的话,将会导致旋涂时,时高时低的颠簸状态。自然无法得到好的旋涂效果。例如采用天然聚丙烯(NPP)或者聚四氟乙烯(特氟隆,PTFE)材质。这两种材质具备绿色环保、节约资源、重量轻、强度大、抗冲击性能好、坚固耐用、花纹自然、光泽度好等优点。